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真空泵原理真空系统的组成及各种真空泵的工作原理
编辑:东莞市长安准亮电子设备厂   时间:2017-07-28

真空泵原理真空采集与测量是真空实用技术的两个重要方面。在真空系统中,得到真空设备和测量仪器。
是必不可少的。目前最常用的真空采集设备有旋片机械真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵和升华泵。
等..真空测量仪表主要有U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。随着电子技术和计算机技术的发展,各种真空采集设备已发展成为高抽速、高真空、无污染的设备真空泵原理。各种真空测量设备与微机相结合。具有数字显示、数据打印、自动监控和自动量程切换功能。真空系统到底是什么?总之,抽真空系统具有特定的要求。其基本内容是:根据真空系统的设计通过对真空度的要求容器抽真空系统,适当的选择,水泵的选型、计算;确定管道、阀门、疏水阀、真空测量元件、合理,最后绘制装配图和零件图的真空系统。真空的应用范围很广,但无论什么真空应用,都有一套排除气体泵的容器系统,以便在真空容器中获得真空所需的条件。例如:真空处理容器、管真空泵原理道和阀门将它与真空泵、真空泵连接起来,当容器被抽空时,容器必须有真空测量装置,它构成了最简单的真空泵系统之一(图1)。
图1显示了最简单的真空系统,只有在真空度低的真空度范围内抽吸容器,在真空中获得高真空时,通常连接到真空系统,如图1所示。
高真空泵。当高真空泵串联时,通常在高真空泵的进出口处加上阀门,使高真空泵能保持真空。如果高真空泵系列是一个油扩散泵,为了防止大量的油蒸气回流到容器中通过泵送,通常在油扩散泵的入口处和一个水冷挡板的收集器。谁是由两个或两个以上系列真空泵的真空系统,泵通常是低真空泵在泵之前,它被称为高真空泵(或增压泵),和最高水平的称为真空泵的真空系统,这是主要的泵,泵的极限真空容器真空泵是由主要的决定。泵到主泵进口的容器之间的管道称为高真空管路,主泵入口处的阀门称为主阀。通常,前泵也用作真空泵。泵和泵之间的管道称为真空管路。管路上的阀门称为真空管阀。主泵出口与前泵进口之间的管路称为前管。管路上的阀门称为前阀,软连接管是为了隔离前泵的振动而设计的。一般来说,一个完美的真空系统由以下组件组成:1。抽水设备,如真空泵;2。真空阀门;3。连接管;4。真空测量装置,如真空压力表、压力表;5。其他元件如:集尘器、吸尘器、真空继电器表头、储气罐等。真空真空泵。真空泵根据工作条件分为两类:一种可在大气压下工作的真空泵称为初级泵(如机械泵),用于产生真空。真空泵原理需要在制备条件下工作的真空泵称为二次泵(扩散泵),二次泵用于进一步增加真空并获得高真空。真空区划:1。粗真空760 ~ 10 Pa;低真空10 ~ 10-2 Pa;中间真空10-2 ~ 10-4 Pa的高真空度为10-4 ~;
超高真空10-12 ~ 10-14 PA;扩散泵高真空泵;当机械泵的极限真空度不能满足要求时,扩散泵通常用于获得高真空。泵不正常工作气压,只有1帕以下。
在压力下工作。因此,泵必须与主泵串联使用。介绍了由机械泵和油扩散泵组成的高真空系统。主阀活塞关闭以下,和4预真空管道阀、5前级管道阀和7个放气阀都在被抽出封闭。真空泵原理打开扩散泵9冷却水之前启动泵。

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