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真空泵维修真空泵抽速和真空机组配置的几个问题
编辑:东莞市长安准亮电子设备厂   时间:2017-08-02

泵的速度被定义为单位时间内单位抽吸压力泵出的气体体积。一个完整的真空系统,无论是为什么应用,都需要有泵进入真空容器或室体,真空装置,它可以是真空泵,并连接管道、阀门、冷阱等。真空系统的管路、阀门、冷阱等部件对气体流动有一定的阻碍。相反,它们有一定的引导气体流动的能力。这种能力称为流动电导。这是气体流动中的一个非常重要的概念。它被定义为单位压力差下的流量。气体的自然流动总是从高压流向低压,当两端的压力为P1和P2时,气体的流动是q。
U = Q /(P1-P2)
通过计算、模拟和测量,可以确定不同真空系统元件的流动电导。除了几何形状外,还与气体的流动状态有关。不同部件的导流器可以串联并并联。
根据真空基本方程,可以从数学两极端的结果,即当U电导很大,真空室可近似等于泵的有效抽速S0速度;当抽速的非常大,或者非常小的导U,在导U近似真空室的有效抽速S0。上述结果可能会更容易理解的身体,从真空室抽气排气口必须通过流导U(即管道、阀门等)可以抽真空,但是从排气口真空泵口运动提取气体从高压向低压流。从低压泵进口到基于电压的强迫流量泵原理。如流量u非常大,通过它的气体体积不受限制,那么泵的泵流量就取决于泵的大小,而泵口与真空室的直接连接是相同的。但如果泵的抽速是非常大的,它是相对于泵流导U非常小的泵送速度,泵的实际抽气能力并不取决于它的抽速取决于你的能力通过对气体流导电导值大小,适当的有效抽速S0泵。
为了最大限度地提高泵的泵送能力,最大限度地利用流量U是最有效的方法,但往往很难达到。而盲目提高泵的泵速更不现实。因此,在白天使用大量的流量和选择泵的大抽速是非常值得权衡的。从真空基本方程,发现有效抽速S0与S或美国的真空基本方程描述的内容并不深奥,单调增加,但不能简单和显而易见的常识,所以在很多应用中,用户往往忽略抽速的限制利用真空技术的应用极大地影响效应引起的电导。
两。对于一个无泄漏、无气真空系统,如真空室是V,和真空室的有效抽速S0。在泵送过程中,真空室的压力随时间变化。
上述定律表明,真空室中的压力大约每大约一次减少一个数量级。显然,T越小,压力下降得越快。当v为常数时,有效抽运速度越大,则越小。
然而,没有真空系统是不会泄漏、没有气体的,即使没有泄漏,通货紧缩也总是存在的,事实上(3)风格反映了真空泵在室内空间抽气过程中的变化。当压力较高时,气体泄漏量和气体系统相对空间尺寸较小,其影响可以忽略,近似不满足气体泄漏的条件和严密性,即:(3)定律的建立可以近似。当压力较低时,气体泄漏和气体系统的量不可忽略甚至成为主要的气体负荷,(3)法律应偏离,在压力降到一个缓慢的,一般这种压力变化约为0.5Pa,所以典型的真空系统压力迅速下降到慢启动高压提取方法。因为有一个合格的真空系统的泄漏率的严格要求,所以气体是影响系统压力降低的主要因素,而通缩是一个缓慢的过程,即使采用烘烤等强化措施,实现预定的压力,往往要经过很长的时间。

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